多晶矽（guī）自動化還原爐鍾罩清洗係（xì）統

改良西（xī）門（mén）子法是一（yī）種化學方法，主要由三氯（lǜ）氫矽與氫氣在1050℃～1150℃，一定壓（yā）力下（xià）進行還原氣象沉積反應生產高純（chún）多（duō）晶矽，該工（gōng）藝一直是半導體（tǐ）行業電子級多晶矽生產最主要的工藝方法。其（qí）中，還原爐和氫化爐是改良西門子法（fǎ）生產多晶矽的（de）核心（xīn）設備，其運行好壞直接影響（xiǎng）多晶矽質量及生產成本。還（hái）原爐和氫化爐為電耗較（jiào）高的設備（bèi），一般企業為降低電耗及成本，大都釆取調整工（gōng）藝參數、提供進料（liào）溫度、提高冷卻水溫（wēn）、清洗鍾罩等方法，其中鍾罩清洗對多晶矽生產非常重要，如果鍾罩清洗（xǐ）不幹淨、光潔度（dù）不夠，常常會導致矽（guī）芯擊不穿或對產品質量汙染，因此擁有一套完善的多（duō）晶矽還原爐清洗係統對多晶矽生產廠家顯得（dé）尤為重要。
 
國內多晶矽鍾罩（zhào）清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大多釆用堿液（yè）中壓清洗。草莓色版APP下载在（zài）使用過程中發現這（zhè）些清洗方式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需求。為此，北京德高潔清潔設備有限公（gōng）司經過（guò）研發設計（jì）並製造出了多晶矽自動化還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統。
 
多晶矽（guī）自動化還原爐鍾罩清洗係統是以高壓水射（shè）流為動力的（de）自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並采用（yòng）專用清洗劑等為主要清洗液（yè），先（xiān）用純水（shuǐ）(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之後再采（cǎi）用高純水衝洗，最終（zhōng）完（wán）成清洗過程。具體特點（diǎn）如下：
 
1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵，清洗作業時三維旋轉噴頭（tóu）可實（shí）現自驅動旋轉、自動升（shēng）降、全方位自動清洗，並可保證多晶矽的純度；

2、利用多晶矽生產廠家（jiā）的蒸汽餘熱將清（qīng）洗（xǐ）介質加（jiā）熱，從而改變（biàn）原電加熱工藝；

3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱，設（shè）置10萬級空氣淨化換熱裝置（zhì）代替（tì）原氮氣電加熱幹（gàn）燥還原爐體工（gōng）藝；

4、北京德高潔清（qīng）潔設備有限公（gōng）司自行研發設計（jì）的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各（gè）規（guī）格的還原爐體；

5、由於清洗過程中會有（yǒu）氫氣和酸（suān）性物質產生，所以必須解決二次汙染（rǎn）問題。我公司自行設（shè）計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染（rǎn）；

6、設計出高壓堿（jiǎn）液（yè）和清水的（de）供給和分開回收裝置，並進行淨化使後序清洗水用（yòng）於前序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。

實際使用證明，北京德高潔清潔設備有限（xiàn）公司研發生產的多晶矽（guī）自動化還原（yuán）爐（lú）鍾罩清洗係統有效解決了（le）生產中的實際問題，為公司（sī）節能降耗提供了有利條件，適用於在全（quán）國範圍推廣應用。