德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)成為(wéi)首(shǒu)選清潔工藝(yì)
時間:2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備
多晶矽,是單質矽的一種形態,多晶矽材料是光伏產(chǎn)業的基礎。在生產中,還原爐每運(yùn)行一個周期,其(qí)內表麵都會殘留無定形矽,同時含有氯矽(guī)烷水解物及其他粉塵雜(zá)質。因(yīn)此每運行一個周期需要采用清洗液,並根據殘(cán)留物分(fèn)布情況對還原(yuán)爐(lú)基盤和鍾罩分別采用特定(dìng)的清理工藝進行處理。還原(yuán)工藝是多晶(jīng)矽生產(chǎn)的關鍵工藝,其工藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量和產量。

多晶矽在整個生產過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原(yuán)爐的沉積環境的潔淨度要求特別關鍵,任何顆粒性(xìng)雜質、油脂等物質餘留在爐內,都會對產品(pǐn)質量(liàng)造成影響(xiǎng)。北京德高潔清潔設備有限公(gōng)司經過研發設計並(bìng)製造出了多晶矽(guī)自動化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將多(duō)晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求。
德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高(gāo)壓(yā)清洗機為主機,以高(gāo)壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采(cǎi)用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之後再采用高純(chún)水衝洗,最終完成清洗過程。
目前國內多(duō)晶(jīng)矽鍾(zhōng)罩(zhào)清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法,但德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統更具特(tè)點:

1、核心部件高壓泵采用進(jìn)口耐酸堿、耐高(gāo)溫、全不鏽鋼的加壓(yā)泵,清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自(zì)驅動旋轉、自動升降、全方位自動(dòng)清洗,並可保證多(duō)晶矽的純度;
2、利用多晶矽生產(chǎn)廠家的蒸汽餘熱(rè)將清洗介質加熱,從而改(gǎi)變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣(qì)淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹(gàn)燥還原爐體工藝;
4、北京德高潔清(qīng)潔設備有限公司自行研發設計的自驅動旋轉升(shēng)降噴射機構可適應各規格的還(hái)原爐體;
5、由於(yú)清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生,所以必須解決二次汙(wū)染問(wèn)題。我公司自行設計的全封閉式清(qīng)洗裝置可完美解決二(èr)次(cì)汙染;
6、設計出高壓(yā)堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進行淨(jìng)化使後序清洗水用(yòng)於(yú)前序的漂(piāo)洗工序,充分利用了廢水資源。
還(hái)原爐沉積多晶矽是間歇操作,一個運行周期結束後需要打(dǎ)開鍾罩收割矽棒,然後進行基盤(pán)清理,再裝矽芯進行下一個周期的化學氣相沉(chén)積。北(běi)京(jīng)德高潔清潔(jié)設備有限公司研發生產(chǎn)的多晶矽自動化還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統有效解決了生產(chǎn)中的實際問題,方便、快捷、處理效果好,目前已成為多晶矽還(hái)原爐鍾罩清潔的首選。

多晶矽在整個生產過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原(yuán)爐的沉積環境的潔淨度要求特別關鍵,任何顆粒性(xìng)雜質、油脂等物質餘留在爐內,都會對產品(pǐn)質量(liàng)造成影響(xiǎng)。北京德高潔清潔設備有限公(gōng)司經過研發設計並(bìng)製造出了多晶矽(guī)自動化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將多(duō)晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求。
德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高(gāo)壓(yā)清洗機為主機,以高(gāo)壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采(cǎi)用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之後再采用高純(chún)水衝洗,最終完成清洗過程。
目前國內多(duō)晶(jīng)矽鍾(zhōng)罩(zhào)清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法,但德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統更具特(tè)點:

1、核心部件高壓泵采用進(jìn)口耐酸堿、耐高(gāo)溫、全不鏽鋼的加壓(yā)泵,清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自(zì)驅動旋轉、自動升降、全方位自動(dòng)清洗,並可保證多(duō)晶矽的純度;
2、利用多晶矽生產(chǎn)廠家的蒸汽餘熱(rè)將清洗介質加熱,從而改(gǎi)變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣(qì)淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹(gàn)燥還原爐體工藝;
4、北京德高潔清(qīng)潔設備有限公司自行研發設計的自驅動旋轉升(shēng)降噴射機構可適應各規格的還(hái)原爐體;
5、由於(yú)清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生,所以必須解決二次汙(wū)染問(wèn)題。我公司自行設計的全封閉式清(qīng)洗裝置可完美解決二(èr)次(cì)汙染;
6、設計出高壓(yā)堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進行淨(jìng)化使後序清洗水用(yòng)於(yú)前序的漂(piāo)洗工序,充分利用了廢水資源。
還(hái)原爐沉積多晶矽是間歇操作,一個運行周期結束後需要打(dǎ)開鍾罩收割矽棒,然後進行基盤(pán)清理,再裝矽芯進行下一個周期的化學氣相沉(chén)積。北(běi)京(jīng)德高潔清潔(jié)設備有限公司研發生產(chǎn)的多晶矽自動化還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統有效解決了生產(chǎn)中的實際問題,方便、快捷、處理效果好,目前已成為多晶矽還(hái)原爐鍾罩清潔的首選。
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