新型電子級多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係統

多（duō）晶矽材料是以工業矽為原料經一係列物理化（huà）學反應提純後達到一定純度的電子材料（liào），其具有高純度的特點，在（zài）整個生產過程中，對（duì）產品質量的控製要求很高（gāo）。在（zài）競爭（zhēng）激烈市場價格（gé）越來越（yuè）低的態勢下，更好的壓縮成本（běn），也是多晶（jīng）矽生產廠家關注的重（chóng）點。

多晶（jīng）矽生產多采用改良西門子法，也是用來生產半導體級多晶（jīng）矽（guī）的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核（hé）心設（shè）備，多晶矽的矽棒就是在其中“生長”出（chū）來的，因此還原（yuán）爐的沉積環境的潔淨（jìng）度特別（bié）關鍵（jiàn）。


在多晶矽的（de）生產設備中，還原爐運（yùn）行好（hǎo）壞直接影響多晶矽質量和（hé）生產成本，一般為（wéi）降低耗電和成本，采取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻（què）水溫度（dù）、清洗鍾罩（zhào）等方法。一套好的鍾罩清洗裝（zhuāng）置在多晶矽生產中是非常必要的，因為鍾罩清洗的光潔（jié）度和清潔度如果（guǒ）不夠，會導致矽芯擊不（bú）穿或產品質量汙染（rǎn）。

目前多晶矽鍾罩的清洗方式（shì）多種多（duō）樣，有（yǒu）高壓（yā）清洗、化（huà）學溶劑（jì）低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐（lú）清洗係統始於2009年，德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製（zhì）造（zào）並獲得實用新（xīn）型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為多晶（jīng）矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。

經過（guò）多年來客戶的實際應用和需求，通（tōng）過總（zǒng）結借鑒國內外鍾罩及（jí）其它（tā）罐類清洗烘幹（gàn）經驗，對汙染和潔淨的概念和（hé）控製有了更全麵的認識。德高潔（jié）充分發揮高壓（yā）水清（qīng）洗（xǐ）和吸除塵的技術優（yōu）勢，研發半導體（tǐ）級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹（gàn）操作。

1、設備性能可靠

德（dé）高潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統性（xìng）能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口（kǒu）。

2、自動化程度高

自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。

一次吊裝在一個（gè）工作台上完成全部（bù）清洗（xǐ）、烘幹過程，可實現遠程對樓下（xià）設備的控製和（hé）主要（yào）參數監（jiān）控（kòng）。

3、安全環保

全密閉式清洗烘（hōng）幹（gàn）係統，使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按（àn）設計（jì）出口（kǒu）排放，基本消除（chú）了對現場及操作人員的汙染。

德高潔多晶矽（guī）鍾罩（zhào）清洗（xǐ）係統按防爆要求設計，加多處安全互鎖功能（néng）(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力（lì）水超（chāo）壓保（bǎo）護、漏電保護，水（shuǐ）風工作互鎖等)。

4、適應範（fàn）圍（wéi）廣（guǎng）

可以在一套係統實現（xiàn）多種（zhǒng）型（xíng）號鍾罩的清洗烘（hōng）幹（gàn），現在已經使用的有四種。

升級後的多晶矽還原（yuán）爐鍾罩清洗係統可根（gēn）據不（bú）同的鍾罩、不同車間廠房不（bú）同能源條件（jiàn），提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶矽品質（zhì）產生重（chóng）要意義。