電子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩清洗（xǐ）係統

能源和環境問題日益成為各方關注的焦點，為了實現能源和環境的可持續發（fā）展（zhǎn），世界各國（guó）都將太陽能發電行業作為（wéi）發展的重。多晶矽（guī）還是（shì）信（xìn）息產業（yè）和新能源產業最（zuì）基礎的原材料，還原工藝（yì）是多晶矽生產的關鍵工藝（yì）和成品工藝（yì），其工藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量和產量。電子級多（duō）晶矽生產工（gōng）藝要求很高，要在“無油、無水、無塵”的環（huán）境下運行（háng）。



目（mù）前（qián）多晶（jīng）矽生產（chǎn）多數采用改良西門子法，用來生產半導體（tǐ）行業電子級多（duō）晶矽；還原爐和（hé）氫（qīng）化爐（lú）是（shì）改良西門子法生產多晶矽（guī）的核心設（shè）備，其運行好壞直接（jiē）影響多晶矽（guī）質量及生產成本。鍾罩清洗不（bú）幹淨、光潔度不夠，常（cháng）常導致矽芯擊不穿或產品質量汙染（rǎn），所以鍾罩清洗設備對多晶（jīng）矽生產非常重要。

經過多年來客戶的（de）實際應用和需求，通過總結借鑒國內外經驗，德高潔對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵（miàn）的認識，充分發揮（huī）高壓水清洗和吸除（chú）塵的技術優勢，研發電子級（jí）多晶矽（guī）還原爐鍾罩清（qīng）洗係統。

德高潔電子級多晶矽（guī）還（hái）原爐鍾罩清洗係（xì）統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和（hé）升（shēng）降（jiàng）執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統（tǒng）實現了鍾罩的全自動（dòng）清洗和烘（hōng）幹操作。



電子級多（duō）晶矽（guī）還原爐鍾罩自動清洗係統特點：

1、多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係（xì）統以3D形式的網狀（zhuàng）噴射來完成爐筒內部（bù）表麵的水（shuǐ）力掃射，加之（zhī）萬級淨化（huà）幹燥係統（tǒng），完全滿足電子級多晶矽生產的需求（qiú）。

2、自動化程度高，清洗時隻需一鍵操作即可，操作簡單方便（biàn）。自動控製係統能實現對還原爐鍾罩的（de）自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具（jù）有半自動或手動功能。

3、在（zài）整個還原爐的清洗過程中，清洗（xǐ）、幹燥中筒內形（xíng）成微負壓狀態，防止（zhǐ）清洗外溢，同時將底座與筒體下（xià）法蘭處的汙染物等一並吹掃，通過排汙管排出，從而保證（zhèng）了整個過程不會對潔淨區造成汙（wū）染。全密閉式清洗烘幹係統（tǒng），使汙染（rǎn）物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了（le）對現場及操作人（rén）員的汙染。

4、德高潔電子級多（duō）晶矽（guī）鍾罩（zhào）清洗係統性能可靠，核心部件（jiàn）、元件和附件原裝進口。電子級（jí）多晶矽還原爐鍾罩清洗係統的適應範（fàn）圍廣，一套係統可以實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。

多晶矽鍾罩的清洗方式多種多（duō）樣，有高壓清洗、化學溶劑低（dī）壓清洗、機械拋光等，德高潔多晶矽鍾罩清洗係統覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為多晶矽行業提供了幾十套（tào）還原爐清洗係（xì）統。這套電（diàn）子級多晶矽還（hái）原爐鍾（zhōng）罩清洗係統經過反複摸索求證，可根據不同的鍾罩、不同車間廠房不同能源條（tiáo）件，提供個性化設計，節省了（le）人力物力，大大降低勞動強度，這也對提（tí）高多晶（jīng）矽品質產生重要意義，取得（dé）了一定的經濟效益和社會效益。