多晶矽正從光伏邁向電子（zǐ）級 還原爐（lú）清洗不可忽視

多晶矽，作為光伏與半導體行業的基礎命（mìng）脈，其自身品質與成本（běn）狀況極大程（chéng）度地決定了行業的（de）發（fā）展水平。集成電路用的電子級矽（guī）材料幾乎是目前工業領域（yù）純度要求（qiú）最高的產品（pǐn），純度要求達到99.99999999999%，即11個9以上，而普通太（tài）陽能級多晶矽材料純度通常（cháng）在5～8個（gè）9左右，國內多晶矽正由光伏邁向電子級。
 
國際谘詢機構IBS發布的數據（jù）顯示，從2014年起，中國集成（chéng）電路市場規（guī）模在全（quán）球占比超過50%，預計到2020年超（chāo）過60%。根據《國家集（jí）成電路產業發展推進綱要》明確提出的發展（zhǎn）目標，2018年中國集成電（diàn）路產（chǎn）業增長22.0%，產業規模達到6400億元。到2020年將全（quán）麵達到（dào）全國集成（chéng）電路（lù）發（fā）展“十三五”規劃的目標（biāo），產業銷售規（guī）模達到（dào）9300億元。

在多晶矽（guī）的生產過程中，一些物料和汙物會粘附（fù）在內壁、視孔鏡、底部法蘭上，增加（jiā）反應生成過程中的能耗（hào），增加生產成本，更加影響多晶矽的質量，影響了多晶（jīng）矽的純度。為了保證多晶矽還原爐表麵的潔淨度，需要對還原爐清洗和烘幹等工作。
 
德高潔公司憑借多年來對自動（dòng）化清洗係統設計、製造的成（chéng）熟（shú）經驗（yàn）和能力，早在（zài）2009年就研發出多晶矽還原爐清洗係統，經過多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外經驗，德高潔對汙染和（hé）潔淨的概念和控製有了更全麵的（de）認識，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優（yōu）勢，進一步研製出電子級多晶矽還原爐（lú）鍾罩清洗係統。
 
德（dé）高潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化程度（dù）高，用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實（shí）現對還原（yuán）爐鍾罩（zhào）的自動清洗（xǐ）和（hé）烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工（gōng）藝參（cān）數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自（zì）動或手動功（gōng）能。一次吊裝在一個工作台上（shàng）完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓下（xià）設備的控製和主（zhǔ）要參數監控。

全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對（duì）現場及操作人員的汙染。核心部件、元件和附件原裝進口（kǒu）保證了（le）電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能（néng）的（de）可靠，可以在一套係統實現多種（zhǒng）型號（hào）鍾罩的清洗烘幹。目前，德高（gāo）潔（jié）在多晶（jīng）矽還原爐清（qīng）洗行業已擁（yōng）有（yǒu）國內90%的用戶，為多（duō）晶矽行業提供了幾十（shí）套還原爐清洗係統。