德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統及（jí）清洗注意事項

目前，隨（suí）著光伏產業（yè）的快速發展，對多晶矽的需求量也日趨增大。在（zài）多（duō）晶矽生產（chǎn）設（shè）備中，還原爐是整個生產係統的關鍵部件，多晶矽生產企業要實現（xiàn）節能降耗就必（bì）須嚴格把控還原爐（lú）的運行。

眾所周知，對還原爐（lú）內壁進（jìn）行清洗處（chù）理，就是降低能耗的一種有效的方式，通過（guò）提（tí）高還原爐內壁光潔度及（jí）光亮度，使還（hái）原爐在矽棒生長過程中，爐壁在高（gāo）溫（wēn）狀態下（xià），對熱輻射反射率的最大化，從而起到降低能耗的作用。



德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高壓（yā）清洗機為（wéi）主機，以高壓水射流為動力的自驅（qū）動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高（gāo）壓水柱噴射表麵，從而完（wán）成鍾罩內部表麵的水力掃射，並采（cǎi）用專用清（qīng）洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離（lí）子水（shuǐ）或叫脫鹽水)漂洗，之後再（zài）采用高純水衝洗，最終（zhōng）完成清洗過程。

一、工作流程

還原爐（lú）鍾罩到位—預清（qīng）洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水衝洗—淨化熱空氣幹燥—常溫幹燥—鍾（zhōng）罩吊走。

二、係統特點

1、德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用進口高壓泵，耐酸堿、耐高溫。清洗（xǐ）作業時三維旋轉噴頭實現（xiàn）自驅動旋轉、自動（dòng）升降、全方（fāng）位自動清洗，保（bǎo）證多晶矽的純度；

2、設置10萬級（jí）空氣淨化換（huàn）熱裝置代替原氮氣電加熱（rè）幹燥還原（yuán）爐體工藝；

3、自行研發設計（jì）的自驅動（dòng）旋轉升降噴射機構，一套係統實（shí）現多種型號還原爐鍾（zhōng）罩的清洗烘幹；

4、由於（yú）清（qīng）洗過程中會有氫氣和酸性物質產生，德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染；

5、德高潔多晶矽還（hái）原爐（lú）鍾罩清洗係統充分（fèn）利用資源，設計了高壓堿液和（hé）清水的供給和分（fèn）開回收（shōu）裝置，並進行淨化使（shǐ）後序清洗水用於（yú）前序的漂洗工序；利用多晶矽生產廠家（jiā）的蒸（zhēng）汽餘熱將清洗介質加熱，從而改變原電加熱工藝。

三、注意事項

多晶矽還原爐內的殘留物及清洗液具有腐蝕性，同時清洗中（zhōng）殘留氯矽烷會發生水解伴有氫氣產生，容（róng）易產生爆鳴燃燒。因此，現場（chǎng）操作（zuò）中，需要做好安全防（fáng）護措施。



1、清（qīng）洗（xǐ）過程中必須穿戴好勞保用（yòng）品，戴防護（hù）手套；

2、用氫氧化鈉溶液擦洗基盤時操作要緩（huǎn）慢，以免摩擦生（shēng）熱引起著火；

3、基盤清洗（xǐ）過程中要避免溶液流進進料管和尾氣管內造成二次汙（wū）染（rǎn），德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉（bì）式清洗裝置可完美解決二次汙染的問題；

4、清洗中要保證將鍾罩烘烤幹，避免有殘留水分；

5、清（qīng）洗劑的選擇對清洗效果和作業安（ān）全有直接影響，這方麵我公司積累了豐（fēng）富的實踐經驗解決閃爆等問題。