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一(yī)、係統概述
德高潔自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩清洗係統主要用於西門(mén)子法多晶矽(guī)還原爐鍾罩(爐筒)內壁的全自動清洗和烘(hōng)幹,該係(xì)統完全由德高潔獨立自主研發而成,並注冊了實用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作原理是以(yǐ)水力自驅動三維自動旋轉噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射(shè)表(biǎo)麵,完成鍾罩內部表麵(miàn)的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清(qīng)洗液,用(yòng)純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝洗,完(wán)成清洗過程。其後用經(jīng)過(guò)三(sān)級淨化(10萬級)的(de)純淨空氣,梯級加熱,保證烘幹完的鍾罩不再(zài)結露,可直接進入生產作業。
二(èr)、係(xì)統特點
1、技術能力(lì)強,設計(jì)合理,根據(jù)客戶需求,總(zǒng)結借鑒國內外還原爐鍾罩(zhào)及其它罐類清洗烘幹經驗,充分發揮高壓水清(qīng)洗和吸除塵的技(jì)術優勢,設(shè)計出本套係統,實現了(le)還原爐鍾罩(zhào)的全自(zì)動清洗和烘幹操作。可根據(jù)使用方(fāng)不同還原爐鍾罩、車間廠房(fáng)的情(qíng)況,能源條件不同,提(tí)供(gòng)個性化設計。
2、設備性能可靠,核心部件(jiàn)、元件和附件原裝進口。
3、自動化程度高:PLC+觸摸(mō)屏柔性自動(dòng)控(kòng)製係統,實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手動(dòng)功能。
4、適(shì)應範圍廣:可以在(zài)一套係統實現多種型號還原(yuán)爐鍾罩的清洗烘幹。
5、節能、環(huán)保、安全:提供了預熱(餘熱蒸汽、餘熱水或油)加熱清洗水及幹燥空氣的方案。全密閉式清洗烘幹係統,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
6、德高潔集(jí)團在北京、上海、深圳、成都、西安(ān)、武漢均設有分(fèn)公司及(jí)辦(bàn)事處。服務體係網絡健全,零配件充足。
三、清洗工藝
還原爐鍾(zhōng)罩到位→預清洗→清(qīng)洗劑(堿液)清洗→漂洗(xǐ)→高純水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫幹燥→鍾罩吊走。
注:清洗劑的選(xuǎn)擇對清洗效果和作業安全有直接影響,這(zhè)方麵我公司積累(lèi)了豐(fēng)富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題(tí)。
四、設備組成
1、高壓熱水清洗動力裝(zhuāng)置1套
由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅動三維洗罐器(1套(tào)),三維洗罐器升降裝置(zhì)(氣動,1套)組成。
2、熱風淨化烘幹機組1套
進風淨化等級:10萬(wàn)級。
3、清洗烘幹工作台及管道1套
4、電氣控製係統1套
采用(yòng)PLC+觸摸屏全自動控(kòng)製,全套德高潔版控製軟件。
注:水和風的加熱方式:電加(jiā)熱(rè),蒸汽、餘熱水或油(yóu)的熱交換(huàn)器換熱。
五、施工條件
1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至(zhì)控製櫃。
2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到(dào)指定接口點。
3、壓縮空氣:不小於流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點。
4、脫鹽水:可提供(gòng)條(tiáo)件,不(bú)小於100 L/min,到指定接口點。
5、純水:不小於 100 L/min,到指定接點。
6、清洗劑:NaOH清洗液(yè)等,不小於2立方米。
7、占地麵積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)
8、三廢處理:洗滌後的含(hán)酸或堿液廢水、廢渣,排放到需(xū)方指定處,由需方自行處理,配排汙水(池、槽)溝;清洗和(hé)烘幹產生的廢氣做室(shì)外(wài)排空排放。
德高潔自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩清洗係統主要用於西門(mén)子法多晶矽(guī)還原爐鍾罩(爐筒)內壁的全自動清洗和烘(hōng)幹,該係(xì)統完全由德高潔獨立自主研發而成,並注冊了實用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作原理是以(yǐ)水力自驅動三維自動旋轉噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射(shè)表(biǎo)麵,完成鍾罩內部表麵(miàn)的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清(qīng)洗液,用(yòng)純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝洗,完(wán)成清洗過程。其後用經(jīng)過(guò)三(sān)級淨化(10萬級)的(de)純淨空氣,梯級加熱,保證烘幹完的鍾罩不再(zài)結露,可直接進入生產作業。
二(èr)、係(xì)統特點
1、技術能力(lì)強,設計(jì)合理,根據(jù)客戶需求,總(zǒng)結借鑒國內外還原爐鍾罩(zhào)及其它罐類清洗烘幹經驗,充分發揮高壓水清(qīng)洗和吸除塵的技(jì)術優勢,設(shè)計出本套係統,實現了(le)還原爐鍾罩(zhào)的全自(zì)動清洗和烘幹操作。可根據(jù)使用方(fāng)不同還原爐鍾罩、車間廠房(fáng)的情(qíng)況,能源條件不同,提(tí)供(gòng)個性化設計。
2、設備性能可靠,核心部件(jiàn)、元件和附件原裝進口。
3、自動化程度高:PLC+觸摸(mō)屏柔性自動(dòng)控(kòng)製係統,實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手動(dòng)功能。
4、適(shì)應範圍廣:可以在(zài)一套係統實現多種型號還原(yuán)爐鍾罩的清洗烘幹。
5、節能、環(huán)保、安全:提供了預熱(餘熱蒸汽、餘熱水或油)加熱清洗水及幹燥空氣的方案。全密閉式清洗烘幹係統,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
6、德高潔集(jí)團在北京、上海、深圳、成都、西安(ān)、武漢均設有分(fèn)公司及(jí)辦(bàn)事處。服務體係網絡健全,零配件充足。
三、清洗工藝
還原爐鍾(zhōng)罩到位→預清洗→清(qīng)洗劑(堿液)清洗→漂洗(xǐ)→高純水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫幹燥→鍾罩吊走。
注:清洗劑的選(xuǎn)擇對清洗效果和作業安全有直接影響,這(zhè)方麵我公司積累(lèi)了豐(fēng)富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題(tí)。
四、設備組成
1、高壓熱水清洗動力裝(zhuāng)置1套
由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅動三維洗罐器(1套(tào)),三維洗罐器升降裝置(zhì)(氣動,1套)組成。
2、熱風淨化烘幹機組1套
進風淨化等級:10萬(wàn)級。
3、清洗烘幹工作台及管道1套
4、電氣控製係統1套
采用(yòng)PLC+觸摸屏全自動控(kòng)製,全套德高潔版控製軟件。
注:水和風的加熱方式:電加(jiā)熱(rè),蒸汽、餘熱水或油(yóu)的熱交換(huàn)器換熱。
五、施工條件
1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至(zhì)控製櫃。
2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到(dào)指定接口點。
3、壓縮空氣:不小於流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點。
4、脫鹽水:可提供(gòng)條(tiáo)件,不(bú)小於100 L/min,到指定接口點。
5、純水:不小於 100 L/min,到指定接點。
6、清洗劑:NaOH清洗液(yè)等,不小於2立方米。
7、占地麵積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)
8、三廢處理:洗滌後的含(hán)酸或堿液廢水、廢渣,排放到需(xū)方指定處,由需方自行處理,配排汙水(池、槽)溝;清洗和(hé)烘幹產生的廢氣做室(shì)外(wài)排空排放。