多晶矽還原爐（lú）體及鍾罩幹式清理（lǐ）係統

一、係統概述
 
多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係統適用矽烷法多晶矽生（shēng）產（chǎn）工藝，用於還原車間反應（yīng）釜中矽汙染物附著力不大的工況（kuàng）條件下無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹以及特殊（shū）旋轉刷組合機構近距離對（duì）反應釜表麵進行噴吹和接觸式清掃達到清（qīng）洗的目（mù）的。通過清洗旋轉調速機構可滿足各工況的（de）要求。清洗的同時采用特殊除（chú）塵淨化器一次性（xìng）進行（háng）除塵淨化。

二、係統特點

1、裝置為移動單元式結構；

2、淨化後的空氣可達到10萬級的淨化（huà）精度可完（wán）全在室內排放；

3、采用全封（fēng）閉幹式的清洗方式確保對環境不出現二次汙染；

4、電氣設（shè）計按隔爆的各（gè）項（xiàng）要求執行、 設備（bèi）設有靜電（diàn）導（dǎo）出裝置（zhì）；

5、控製方式可為全自動或手動控製；

6、運行總功率小，噪聲低。
 
三、清掃工（gōng）藝

反應釜吊裝至清洗台上→定位→連接→啟動淨化器→啟動旋轉→上下移動機（jī）構→高壓氣體沿（yán）壁噴吹→旋（xuán）轉刷至上而下接觸移動清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起→檢查（chá）。

四、設備組成

主（zhǔ）要由清洗平台（tái）、氣（qì）體噴吹裝置、吸塵輸（shū）送管道、控製閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器、電氣控製係統等組成。

主要部件采用進口零部件，確保運行可靠穩（wěn）定、使用周期長。操作維修簡單。